النقاط الرئيسيةالمنتج: مقياس تسارع MEMS عالي الدقة ACM 1200سمات:ثبات الانحياز: 100 مجم لإزاحة الجاذبية الصفرية بشكل موثوقالقرار: 0.3 ملغ لقياسات دقيقةنطاق درجة الحرارة: معايرة المصنع من -40 درجة مئوية إلى +80 درجة مئويةالتطبيقات: مصممة لمراقبة الميل في الهياكل الهيدروليكية، والهندسة المدنية، والبنية التحتيةالمزايا: دقة عالية (دقة إمالة تبلغ 0.1 درجة)، وفعالة في البيئات الديناميكية، وتعالج معايير رئيسية مثل انخفاض مستوى الضجيج، والتكرار، وحساسية المحاور المتقاطعة، مما يعزز الموثوقية والأداء على المدى الطويل في أنظمة استشعار الإمالة.في مجال أنظمة MEMS، أصبحت مقاييس التسارع السعوية تقنية أساسية لاستشعار الميل أو الميل. تواجه هذه الأجهزة، الضرورية لمختلف التطبيقات الصناعية والاستهلاكية، تحديات كبيرة، خاصة في البيئات الديناميكية حيث تنتشر الاهتزازات والصدمات. يتطلب تحقيق الدقة العالية، مثل دقة الميل بمقدار 0.1 درجة، معالجة مجموعة من المواصفات الفنية وعوامل الخطأ. تتعمق هذه المقالة في المعايير والحلول الأساسية لاستشعار الميل بشكل فعال باستخدام مقاييس تسارع MEMS.1. المعايير الأساسية للاستشعار الدقيق للإمالةاستقرار الانحياز: يشير استقرار الانحياز إلى قدرة مقياس التسارع على الحفاظ على إزاحة ثابتة عند الصفر مع مرور الوقت. ويضمن الاستقرار العالي للتحيز أن تظل قراءات المستشعر موثوقة ولا تنحرف، وهو أمر بالغ الأهمية للحفاظ على الدقة في قياسات الميل. الإزاحة على درجة الحرارة: يمكن أن تتسبب تغيرات درجة الحرارة في حدوث تغيرات في إزاحة مقياس التسارع عند الصفر. يعد تقليل هذه التحولات، المعروفة باسم إزاحة درجة الحرارة، أمرًا ضروريًا للحفاظ على الدقة عبر ظروف التشغيل المختلفة.انخفاض مستوى الضجيج: يمكن أن تؤثر الضوضاء في قراءات المستشعر بشكل كبير على دقة قياسات الميل. تعد مقاييس التسارع منخفضة الضوضاء أمرًا حيويًا لتحقيق قراءات ميل دقيقة ومستقرة، خاصة في البيئات الثابتة.التكرار: تشير التكرار إلى قدرة المستشعر على إنتاج نفس المخرجات في ظل ظروف مماثلة خلال تجارب متعددة. تضمن إمكانية التكرار العالية أداءً متسقًا، وهو أمر بالغ الأهمية لاستشعار الإمالة بشكل موثوق.تصحيح الاهتزاز: في البيئات الديناميكية، يمكن أن يؤدي الاهتزاز إلى تشويه بيانات الإمالة. يعمل تصحيح الاهتزاز الفعال على تقليل تأثير هذه الاضطرابات، مما يسمح بإجراء قياسات دقيقة للإمالة حتى عندما يتعرض المستشعر لاهتزازات خارجية.الحساسية عبر المحاور: تقيس هذه المعلمة مدى تأثر خرج المستشعر بالتسارع المتعامد مع محور القياس. تعد الحساسية المنخفضة للمحاور المتقاطعة ضرورية لضمان استجابة مقياس التسارع بدقة للإمالة على طول المحور المقصود فقط.2. التحديات في البيئات الديناميكيةتشكل البيئات الديناميكية تحديات كبيرة لمقاييس تسارع MEMS في تطبيقات استشعار الميل. يمكن أن يؤدي الاهتزاز والصدمة إلى حدوث أخطاء تؤدي إلى إتلاف بيانات الإمالة، مما يؤدي إلى عدم دقة القياس بشكل كبير. على سبيل المثال تحقيق